HD414-296雅歌argo过滤器

HD414-259雅歌滤芯	V3.0520-03雅歌滤芯	HD990-159雅歌滤芯
V3.0823-03雅歌滤芯	HD064-196雅歌滤芯	V3.1060-03雅歌滤芯
HD414-296雅歌滤芯	V3.0520-161雅歌滤芯	HD990-186雅歌滤芯
V3.0823-16雅歌滤芯	HD064-156雅歌滤芯	V3.1060-16雅歌滤芯

分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵，尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。
由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一，所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速，国外在分子泵的入口侧装一个-130℃～-150℃的低温冷板，称之为低温分子泵，水蒸气被低温板捕获，其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用，既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着中国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展，分子泵应该是中国真空泵制造业发展的重点。首先，分子泵要从小到大建立完整系列，以满足不同场合的需要。
干泵
SBF840039Z3V SCHROEDER RP300E03V
SBF840039Z5B SCHROEDER RP300E05B
SBF840039Z5V SCHROEDER RP300E05V
SBF84008S15B SCHROEDER RP100E20B
SBF84008S15V SCHROEDER RP100E20V
SBF84008S1B SCHROEDER RP100E03B
SBF84008S1V SCHROEDER RP100E03V

SBF84008S3B SCHROEDER RP100E05B
SBF84008S3V SCHROEDER RP100E05V
SBF84008S7B SCHROEDER RP100E10B
SBF84008S7V SCHROEDER RP100E10V
SBF84008Z10B SCHROEDER RP100E10B
SBF84008Z10V SCHROEDER RP100E10V
SBF84008Z25B SCHROEDER RP100E20B
HQ25.10Z 进口替代滤芯HQ25.600.11Z 再生装置二级滤芯A110C10富卓油滤芯HC9601FKP13H颇尔滤芯0330D003BN/HC贺德克HYDAC滤芯 R928005575力士乐滤芯 再生泵吸油口滤芯SUS065-B20-P-3-125蓄能器滤芯01.E.60.6VG.HR.E.P英德诺曼滤芯HYS501460150ES普拉赛滤芯  CU100M125N翡翠油滤芯 EPB34NFC进口UFI滤芯 V0162B1C05威格士滤芯 PISH06A150W大生滤芯 HQ25.300.12Z哈汽油滤芯